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德國MechOnics壓電式納米定位臺的結(jié)構(gòu)通常包括壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸等多自由度的精密運動。MechOnics壓電式納米定位臺這種結(jié)構(gòu)設計使得壓電納米定位臺具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器后，可實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度。
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德國MechOnics壓電式納米定位臺是一種基于壓電效應的高精度定位裝置，其工作原理主要依賴于壓電陶瓷材料的逆壓電效應。當對壓電陶瓷施加電場時，其內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)發(fā)生微小形變，從而產(chǎn)生機械位移。這種位移可以被控制，以實現(xiàn)納米級別的運動控制和定位。
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