代理德國thyracont皮拉尼真空計
大連力迪流體控制技術有限公司作為thyraconts代理，誠摯為各位提供德國thyracont全系列產品。
一、Thyracont品牌核心優勢
德國Thyracont成立于1970年，50余年專注真空測量技術創新，以高精度、耐用性及智能化為核心競爭力。其產品融合傳統工藝與現代技術，例如的微型Pirani螺旋絲和寬量程組合傳感器，已成為行業標準。
代理德國thyracont皮拉尼真空計真空表優勢：
•具有16bar的超壓穩定性，無需超壓閥，節約成本
•響應速度快，精度高
•防護等級高可達IP54
•法蘭處耐溫度，高達160攝氏度
•輸出信號:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet滿足不同的控制系統連接
? 磁控濺射鍍膜設備以及離子鍍膜設備所需的超高真空度范圍，thyracont的VSM冷陰極和VSH熱陰極復合真空規
l VSM 1000到5*E-9mbar（5*E-7Pa） 皮拉尼/冷陰極
1. 磁控濺射是一種物理氣相沉積技術，利用磁場和電場約束電子，提高濺射效率。磁控濺射的工作過程，比如氬離子轟擊靶材，濺射原子沉積到基片上形成薄膜。其中，在真空腔室（通常抽至1*E-5mbar(1*E-3Pa)量級）中通入氬氣。
a) 通常會使用皮拉尼冷陰極復合規。
l VSH 1000到5*E-10mbar（5*E-8Pa） 皮拉尼/熱陰極
1. 離子鍍膜設備是基于物理氣相沉積（PVD）技術的高精度表面處理設備，通過等離子體環境中的離子轟擊實現膜層沉積，廣泛應用于工具、裝飾、電子、光學等領域。
2. 磁控濺射需本底真空≤5×10?? Torr（≈6.67×10?? Pa）以避免油蒸氣污染
3. 半導體/光學鍍膜（如晶圓封裝、濾光片）
a) 真空度：晶圓封裝需<5×10?? mbar（≈5×10?? Pa），光學鍍膜需<1×10?? Pa
b) 目標：納米級膜厚精度（±1%），避免氣體吸附導致的光學損耗
c) 通常會使用皮拉尼熱陰極復合規
各品牌產品對比
型號 | Thyracont圖拉特 VSM77 | 英福康 MPG4XX | 萊寶 PTR90RN | 愛德華 WRG200 |
測量范圍 | 1000---5e-9mbar | 1000mbar---5e10-9mbar | 1000---1e-8mbar | 1x10?? to 1000 mbar |
精度 | 1000 ... 10 mbar: approx. 30% f. reading 10 ... 2.0x10-3 mbar: 10% f. reading 2.0x10-3 ... 1.0x10-8 mbar: 25% f. reading | 30%reading | 100 to 1000 ±25% of reading 1e-3 to 100 ±5% of reading 5e-4 to 1 e-3 ±10% of reading 1e10-8 to 1 e10-3 ±30% of reading | <30% ：1x10?? to 1x10?33 <15% ：from 1x10?33 to 10mbar |
| 常用的范圍內thyracont精度要高于其他品牌 |
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