新加坡ACCULEX顯微鏡設備IMH
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公司簡介
ACCULEX Solutions Pte Ltd成立于1999年，總部位于新加坡，專注于工業檢測與精密測量設備的研發與生產。公司在新加坡及馬來西亞馬六甲設有研發中心，致力于為半導體、電子制造及精密加工領域提供高效測量解決方案，并通過ISO 9001:2015質量管理體系認證。
產品類型
ACCULEX主要產品涵蓋以下類別：
1、光學檢測與計量設備
2、自動測量與輪廓系統
3、自動化集成設備
4、晶圓傳輸與檢測設備
5、顯微鏡及光學配件
主要型號
1、IMH Integrated Measuring Microscope
2、WLO x00 Automatic Wafer Lifter/Inspection Machine
3、PLU x00 Programmable Wafer Inspection Station
4、MCL x50 Wafer Transfer Machine
5、DZ2IRV-IRT Infrared Zoom Microscpe
產品介紹
一、IMH Integrated Measuring Microscope
1、功能：非接觸式高精度深度測量，集成于生產線使用。
2、技術參數：
3、測量精度：±0.5μm
4、放大倍率：50X~200X（可選配置）
5、光源：LED冷光源
6、工作原理：基于光學分割法，通過分劃板對準實現高度、深度及表面形貌測量，支持實時觀測。
二、WLO x00 Automatic Wafer Lifter
1、功能：晶圓自動搬運與表面缺陷檢測。
2、技術參數：
3、兼容晶圓尺寸：6英寸至12英寸
4、定位精度：±10μm
5、工作溫度：10°C~40°C
優勢特點
1、高精度測量：采用光學分割技術，滿足微米級檢測需求。
2、緊湊設計：模塊化結構便于集成至生產線設備。
3、多場景兼容：支持半導體、電子元件及精密加工領域應用。
4、操作簡化：直觀界面降低操作門檻，提升檢測效率。
5、穩定性強：工業級部件設計，適應長時間連續作業。
主要應用
1、半導體制造：晶圓厚度測量、表面缺陷檢測。
2、精密加工：微型零件臺階高度、孔徑尺寸檢測。
3、電子元件檢測：PCB焊點高度、封裝平整度分析。
4、科研實驗：材料表面形貌觀測與數據采集。
5、光學器件生產：透鏡曲率、鍍膜層厚度測量。
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